Масс-монохроматор рассчитан на энергии ионов от 5-35 кэВ. Для разделения пучка ускоренных ионов по массам используется неоднородное магнитное поле зигбановского типа, обеспечивающее стигматическую фокусировку ионов в вертикальной и горизонтальной плоскостях. Магнит имеет форму сектора с углом 67 градусов. Радиус равновесной траектории 500 мм., угол отклонения пучка 73 градуса. Плотность пучка в фокусе установки достигает 2 мА/см2. Поперечное сечение ионного пучка ~0.3 см2. Ионный пучок получается в дуговом ионном источнике с продольным магнитным полем.
Камера столкновений Масс-монохроматора позволяет проводить экспериментальные исследования по взаимодействию ионов с поверхностями твердых тел (имплантации, распылению, ионно-электронной и ионно-фотонной эмиссии, модификации поверхностей и др.). Вакуум в камере столкновений обеспечивается безмасляной турбомолекулярной системой с насосом Turbovac TW 300H.
