Электронный микроскоп FIB-SEM TESCAN LYRA
FIB-SEM с галиевым источником позволяет фокусировать пучки электронов и ионов в одной точке. Это помогает одновременно получать изображения с помощью SEM во время использования FIB, что особенно важно во всех тех операциях с FIB, которые требуют предельного уровня точности.
НаноЛаборатория: АСМ, СТМ и КР (TERS)
Установка «НаноЛаборатория ИНТЕГРА Спектра (NT-MDT)» объединяет в себе возможности СЗМ с конфокальной микроскопией/спектроскопией комбинационного рассеяния (КР); благодаря эффекту гигантского усиления КР позволяет проводить КР спектроскопию и получать оптические спектры с пространственным разрешением по поверхности образца до 50 нм.
Нанолаборатория ИНТЕГРА Спектра представляет собой комбинированную систему, включающую конфокальный сканирующий лазерный спектрометр высокого пространственного разрешения, оптический микроскоп и универсальный сканирующий зондовый микроскоп. Система способна работать в режиме регистрации пространственного, трехмерного распределения спектров люминесценции и комбинационного рассеяния света, а также в различных режимах сканирующей зондовой микроскопии.
Одновременно с оптическим наблюдением, ИНТЕГРА Спектра позволяет исследовать объект с помощью арсенала методов сканирующей зондовой микроскопии — АСМ, МСМ, СТМ, сканирующей ближнепольной микроскопии, силовой спектроскопии. Уникальное совмещение оптических и зондовых методов в одном приборе позволяет ставить комплексные эксперименты, в которых информация о распределении оптических свойств образца и его химического состава может быть наложена на распределение его механических, электрических, магнитных и других свойств.
Ускоритель кислородной плазмы
– механизм формирования плазменного пучка импульсным лазерным излучением
– плотность потока – 1014–1016 см–2с–1
– содержание ионов O+ в потоке не более 10%
– продолжительность непрерывной работы стенда – 72 часа