FIB-SEM с галиевым источником позволяет фокусировать пучки электронов и ионов в одной точке. Это помогает одновременно получать изображения с помощью SEM во время использования FIB, что особенно важно во всех тех операциях с FIB, которые требуют предельного уровня точности.
