FIB-SEM с галиевым источником позволяет фокусировать пучки электронов и ионов в одной точке. Это помогает одновременно получать изображения с помощью SEM во время использования FIB, что особенно важно во всех тех операциях с FIB, которые требуют предельного уровня точности.
![](http://beam.sinp.msu.ru/wp-content/uploads/2020/08/P2243758-2-1024x810.jpg)